Hovedforskellen mellem mikroanalyse og semi-mikroanalyse er, at mikroanalyse bruges til at analysere materiale, der har mindre end 10 mg masse, mens semi-mikroanalyse bruges til at analysere materiale, der har en masse omkring 100-500 mg.
Mikro- og semi-mikroanalyse er to typer kvalitativ analyse, som er analysen af materiale baseret på deres egenskaber i stedet for deres mængder. Mikroanalyse refererer til analysen af materiale med partikelstørrelser i mikroskalaen. Forskellige metoder kan bruges til mikroanalyse. Semi-mikroanalyse er på den anden side en udviklet metode til mikroanalyse.
